El nitrogen d'alta -puresa s'utilitza com a gas protector i portador en la fabricació de circuits integrats, semiconductors i dispositius electrònics de buit; serveix com a gas portador en la deposició química de vapor; transporta el gas en fonts de difusió líquida; i actua com a gas protector per a dispositius en forns de difusió d'-alta temperatura.
El nitrogen d'alta -puresa s'utilitza com a gas per al desplaçament, l'assecat, l'emmagatzematge i el transport en processos com l'epitaxia, la fotolitografia, la neteja i l'evaporació. Es requereix una puresa de nitrogen del 99,99% o superior a la fabricació de tubs de raigs catòdics. En tecnologia aeroespacial, primer s'han de purgar els sistemes d'abastiment d'hidrogen líquid amb nitrogen d'alta -puresa, seguit d'heli d'alta-puresa.
El desembre de 2025, l'Administració estatal per a la regulació del mercat va aprovar i va publicar el material estàndard nacional per a nitrogen d'alta-puresa, que s'utilitza en processos clau com ara la neteja, el gravat i la deposició en la fabricació de dispositius semiconductors, així com en processos com la fotolitografia, la implantació d'ions i l'oxidació en la producció de circuits integrats.